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Fabrication and Design of Resonant Microdevices - Behraad Bahreyni - cover

LIBRO INGLESE

Fabrication and Design of Resonant Microdevices

Name: Fabrication and Design of Resonant Microdevices
Price: 127.10 EUR
Availability: InStock
Author: Behraad Bahreyni
ISBN: 0815515774

di Behraad Bahreyni (Autore)

William Andrew Publishing, 2008

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Descrizione

This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are introduced, with an overview of fabrication techniques for micromachined devices - important to understand as design options will depend on how the device will be fabricated. Also explained: excitation and signal detection methods; an analytic model of device behavior (a valuable design tool); numerical simulation techniques; issues of damping and noise for resonant MEMS; electronic interfacing; packaging issues; and numerous examples of resonant MEMS from academia and industry.

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Dettagli

Autore:

Behraad Bahreyni

Editore:

William Andrew Publishing

Collana:

Micro & Nano Technologies

Anno:

2008

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

250 p.

Testo in English

Dimensioni:

254 x 178 mm

Peso:

580 gr.

EAN:

9780815515777

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