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Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics - cover

LIBRO INGLESE

Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics

Erik M. Secula (Curatore)

David G. Seiler (Curatore)

American Institute of Physics, 2009

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Descrizione

As the semiconductor industry continues to move toward silicon nanoelectronics and beyond, the introduction of new materials, innovative processing and assembly, and novel devices brings formidable metrology challenges. This book emphasizes the frontiers of innovation in the characterization and metrology needed to advance nanoelectronics.

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Dettagli

Curatore:

Erik M. Secula, David G. Seiler

Editore:

American Institute of Physics

Collana:

AIP Conference Proceedings

Anno:

2009

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

320 p.

Testo in English

Dimensioni:

279 x 216 mm

EAN:

9780735407121

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