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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching - Brian Chapman - cover

LIBRO INGLESE

Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching

Name: Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Price: 162.44 EUR
Availability: InStock
Author: Brian Chapman
ISBN: 047107828X

di Brian Chapman (Autore)

John Wiley & Sons Inc, 1980

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Descrizione

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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Dettagli

Autore:

Brian Chapman

Editore:

John Wiley & Sons Inc

Anno:

1980

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

432 p.

Testo in English

Dimensioni:

244 x 168 mm

Peso:

836 gr.

EAN:

9780471078289

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