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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication - P. Rai-Choudhury - cover

LIBRO INGLESE

Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication

Name: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication
Price: 148.52 EUR
Availability: InStock
Author: P. Rai-Choudhury
ISBN: 0819423793

di P. Rai-Choudhury (Autore)

SPIE Press, 1997

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Part of a compilation of diverse information into a single, two-volume resource just at the moment when researchers are weighing the alternatives to visible light that will be necessary to etch features smaller than 0.13 microns. Volume Two focuses on the process technology and the device applicatio

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Dettagli

Autore:

P. Rai-Choudhury

Editore:

SPIE Press

Collana:

Press Monographs

Anno:

1997

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

698 p.

Testo in English

EAN:

9780819423795

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