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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies - cover

LIBRO INGLESE

Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies

Shyam P. Muraka (Curatore)

Moshe Eizenberg (Curatore)

Elsevier Science Publishing Co Inc, 2003

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Descrizione

Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.

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Dettagli

Curatore:

Shyam P. Muraka, Moshe Eizenberg

Editore:

Elsevier Science Publishing Co Inc

Anno:

2003

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

464 p.

Testo in English

Dimensioni:

240 x 165 mm

Peso:

1040 gr.

EAN:

9780125112215

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