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Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology - David C. Cox - cover

LIBRO INGLESE

Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

Name: Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology
Price: 66.61 EUR
Availability: InStock
Author: David C. Cox
ISBN: 1681740206

di David C. Cox (Autore)

Morgan & Claypool Publishers, 2015

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Descrizione

This book describes modern focused ion beam microscopes and techniques and how they can be used to aid materials metrology and as tools for the fabrication of devices that in turn are used in many other aspects of fundamental metrology. Beginning with a description of the currently available instruments including the new addition to the field of plasma-based sources, it then gives an overview of ion solid interactions and how the different types of instrument can be applied. Chapters then describe how these machines can be applied to the field of materials science and device fabrication giving examples of recent and current activity in both these areas.

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Dettagli

Autore:

David C. Cox

Editore:

Morgan & Claypool Publishers

Anno:

2015

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

104 p.

Testo in English

Dimensioni:

254 x 175 mm

EAN:

9781681740201

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