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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering - Nadim Maluf - cover

LIBRO INGLESE

An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Name: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Price: 66.13 EUR
Availability: InStock
Author: Nadim Maluf
ISBN: 0890065810

di Nadim Maluf (Autore)

Artech House Publishers, 1999

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Descrizione

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

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Dettagli

Autore:

Nadim Maluf

Editore:

Artech House Publishers

Collana:

Microelectromechanical Systems S.

Anno:

1999

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

292 p.

Testo in English

Dimensioni:

229 x 152 mm

Peso:

600 gr.

EAN:

9780890065815

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