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Lithography

Stefan Landis (Curatore)

ISTE Ltd and John Wiley & Sons Inc, 2010

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Descrizione

Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.

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Dettagli

Curatore:

Stefan Landis

Editore:

ISTE Ltd and John Wiley & Sons Inc

Anno:

2010

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

404 p.

Testo in English

Dimensioni:

236 x 163 mm

Peso:

740 gr.

EAN:

9781848212022

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