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Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices - Wendong Zhang,Xing Fu,Tiekin Shi - cover
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Descrizione


A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
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Dettagli

2016
Hardback
344 p.
Testo in English
250 x 177 mm
670 gr.
9781118717967
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