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MEMS and MOEMS Technology and Applications v. PM85

Name: MEMS and MOEMS Technology and Applications v. PM85
Price: 118.37 EUR
Availability: InStock
Author: P.Rai- Choudhury
ISBN: 0819437166

di P.Rai- Choudhury (Autore)

SPIE Press, 2000

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Descrizione

The silicon age that led the computer revolution has significantly changed the world. The next 30 years will see the incorporation of new types of functionality onto the chip-structures that will enable the chip to reason, to sense, to act and to communicate. Micromachining technologies offer a wide range of possibilities for active and passive devices. Recent developments have produced sensors, actuators and optical systems. Many of these technologies are based on surface micromachining, which has evolved from silicon integrated circuit technology. This book is written by experts in the field. It contains useful details in design and processing and can be utilized as a reference book or as a textbook.

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Dettagli

Autore:

P.Rai- Choudhury

Editore:

SPIE Press

Collana:

Press Monographs

Anno:

2000

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

700 p.

Testo in English

EAN:

9780819437167

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