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Microelectronics Technology: Polymers for Advanced Imaging and Packaging - cover

LIBRO INGLESE

Microelectronics Technology: Polymers for Advanced Imaging and Packaging

Elsa Reichmanis (Curatore)

Christopher K. Ober (Curatore)

American Chemical Society, 1995

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Descrizione

Provides an up-to-date assessment of chemically amplified resist materials chemistry and process considerations. Reports novel chemistry for single layer 193nm lithographic applications. Discusses new approaches to silicon-containing resists and multilevel processes. Explores the design of low-dielectric polymer materials for microelectronic applications.

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Dettagli

Curatore:

Elsa Reichmanis, Christopher K. Ober

Editore:

American Chemical Society

Collana:

ACS Symposium Series

Anno:

1995

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

590 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 156 mm

Peso:

885 gr.

EAN:

9780841233324

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