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LIBRO INGLESE

Optical Metrology

Ghanim A. Al-Jumaily (Curatore)

SPIE Press, 1999

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The 11 papers are unsupported by an introduction or index. They consider such aspects as the basic theory and application of variable- angle spectroscopic ellipsometry, analyzing low-dielectric-constant and copper-based films with one or more layers, optical scatter measurements and their applicatio

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Dettagli

Curatore:

Ghanim A. Al-Jumaily

Editore:

SPIE Press

Collana:

Proceedings of SPIE

Anno:

1999

Rilegatura:

Paperback

Pagine:

15 p.

Testo in ENG

Dimensioni:

255 x 180 mm

Peso:

503 gr.

EAN:

9780819432353

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