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Rapid Thermal Processing: Science and Technology - cover

LIBRO INGLESE

Rapid Thermal Processing: Science and Technology

Richard B. Fair (Curatore)

Elsevier Science Publishing Co Inc, 1993

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Descrizione

This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.

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Dettagli

Curatore:

Richard B. Fair

Editore:

Elsevier Science Publishing Co Inc

Anno:

1993

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

430 p.

Testo in English

Dimensioni:

229 x 152 mm

Peso:

770 gr.

EAN:

9780122476907

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