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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing - cover

LIBRO INGLESE

Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

James Moyne (Curatore)

Enrique del Castillo (Curatore)

Taylor & Francis Inc, 2000

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Descrizione

Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

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Dettagli

Curatore:

James Moyne, Enrique del Castillo

Editore:

Taylor & Francis Inc

Anno:

2000

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

368 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 156 mm

Peso:

626 gr.

EAN:

9780849311789

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