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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments - Alexey Ivanov - cover
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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments
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Silicon Anodization as a Structuring Technique: Literature Review, Modeling and Experiments - Alexey Ivanov - cover
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Descrizione


Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed.
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Dettagli

2017
Paperback / softback
316 p.
Testo in English
210 x 148 mm
4497 gr.
9783658192372
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