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Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials - Kiyotaka Wasa,Makoto Kitabatake,Hideaki Adachi - cover

LIBRO INGLESE

Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials

Name: Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials
Price: 206.82 EUR
Availability: InStock
Author: Kiyotaka Wasa
ISBN: 0815514832

di Kiyotaka Wasa (Autore)

Makoto Kitabatake (Autore)

Hideaki Adachi (Autore)

William Andrew Publishing, 2002

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Descrizione

An invaluable resource for industrial science and engineering newcomers to sputter deposition technology in thin film production applications, this book is rich in coverage of both historical developments and the newest experimental and technological information about ceramic thin films, a key technology for nano-materials in high-speed information applications and large-area functional coating such as automotive or decorative painting of plastic parts, among other topics. In seven concise chapters, the book thoroughly reviews basic thin film technology and deposition processes, sputtering processes, structural control of compound thin films, and microfabrication by sputtering.

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Dettagli

Autore:

Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi

Editore:

William Andrew Publishing

Anno:

2002

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

532 p.

Testo in ENG

Dimensioni:

229 x 152 mm

Peso:

984 gr.

EAN:

9780815514831

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